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二维材料器件最难的工艺部分是电极接触,世界性难题。深圳六碳科技和复旦大学,江南大学,北京大学,南京邮电大学合作了一篇通过soft plasma 处理MoS2 表面,从而改善电极接触的文章:A novel contact engineering method for transistors based on two-dimensional materials,发表在Journal of Materials Science & Technology 上。欢迎大家参考。 https://doi.org/10.1016/j.jmst.2020.05.079