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二硫化钼FET (MoS2 FET), 二硫化钨FET (WS2 FET), 二硒化钨 FET(WSe2 FET), 石墨烯晶体管(GFET)等。

深圳六碳科技自建的微加工中心本学期开始对外服务。微加工中心配置:405nm激光直写曝光机,365nm紫外接触式曝光机,RIE反应离子刻蚀机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机等常规微加工设备。附图8英寸石墨烯电极(石墨烯转移到8英寸200mmm直径氧化硅片上后激光直写曝光,然后刻蚀图案化,最后去胶而成)